北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公告
發(fā)布時間：2025-10-17
項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目
項(xiàng)目編號：1495-254thhrlab03
招標(biāo)范圍：磁控濺射儀作為核心工藝裝備，將支撐超順磁tmr材料的關(guān)鍵功能層制備與膜堆結(jié)構(gòu)調(diào)控，需具備單濺射腔多靶位高精度切換能力（≥12個靶位）、優(yōu)異的膜厚均勻性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉積精度（0.01nm），優(yōu)于10-8 torr的極限真空度、穩(wěn)定的射頻與直流濺射源、可控的成分調(diào)配系統(tǒng)以及低粒子污染的沉積環(huán)境，以實(shí)現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)的高一致性與批次重復(fù)性，為高精度傳感芯片的大規(guī)模開發(fā)和薄膜工藝優(yōu)化提供堅(jiān)實(shí)支撐。
******有限公司
招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時間：2025-10-11 09:30
公示時間：2025-10-13 11:48 - 2025-10-16 17:00
中標(biāo)結(jié)果公告時間：2025-10-17 15:27
******集團(tuán)
制造商：singulus technologies ag
制造商國家或地區(qū)：德國
發(fā)布時間：2025-10-17
項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目
項(xiàng)目編號：1495-254thhrlab03
招標(biāo)范圍：磁控濺射儀作為核心工藝裝備，將支撐超順磁tmr材料的關(guān)鍵功能層制備與膜堆結(jié)構(gòu)調(diào)控，需具備單濺射腔多靶位高精度切換能力（≥12個靶位）、優(yōu)異的膜厚均勻性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉積精度（0.01nm），優(yōu)于10-8 torr的極限真空度、穩(wěn)定的射頻與直流濺射源、可控的成分調(diào)配系統(tǒng)以及低粒子污染的沉積環(huán)境，以實(shí)現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)的高一致性與批次重復(fù)性，為高精度傳感芯片的大規(guī)模開發(fā)和薄膜工藝優(yōu)化提供堅(jiān)實(shí)支撐。
******有限公司
招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時間：2025-10-11 09:30
公示時間：2025-10-13 11:48 - 2025-10-16 17:00
中標(biāo)結(jié)果公告時間：2025-10-17 15:27
******集團(tuán)
制造商：singulus technologies ag
制造商國家或地區(qū)：德國
