北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目評標(biāo)結(jié)果公示公告
發(fā)布時(shí)間：2025-10-13
項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目
招標(biāo)項(xiàng)目編號：1495-254thhrlab03
招標(biāo)范圍：磁控濺射儀作為核心工藝裝備，將支撐超順磁tmr材料的關(guān)鍵功能層制備與膜堆結(jié)構(gòu)調(diào)控，需具備單濺射腔多靶位高精度切換能力（≥12個(gè)靶位）、優(yōu)異的膜厚均勻性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉積精度（0.01nm），優(yōu)于10-8 torr的極限真空度、穩(wěn)定的射頻與直流濺射源、可控的成分調(diào)配系統(tǒng)以及低粒子污染的沉積環(huán)境，以實(shí)現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)的高一致性與批次重復(fù)性，為高精度傳感芯片的大規(guī)模開發(fā)和薄膜工藝優(yōu)化提供堅(jiān)實(shí)支撐。
******有限公司
招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時(shí)間：2025-10-11 09:30
公示開始時(shí)間：2025-10-13 11:48
評標(biāo)公示截止時(shí)間：2025-10-16 17:00
中標(biāo)候選人名單：
發(fā)布時(shí)間：2025-10-13
項(xiàng)目名稱：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室soc 2025年第二批機(jī)電設(shè)備采購項(xiàng)目
招標(biāo)項(xiàng)目編號：1495-254thhrlab03
招標(biāo)范圍：磁控濺射儀作為核心工藝裝備，將支撐超順磁tmr材料的關(guān)鍵功能層制備與膜堆結(jié)構(gòu)調(diào)控，需具備單濺射腔多靶位高精度切換能力（≥12個(gè)靶位）、優(yōu)異的膜厚均勻性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉積精度（0.01nm），優(yōu)于10-8 torr的極限真空度、穩(wěn)定的射頻與直流濺射源、可控的成分調(diào)配系統(tǒng)以及低粒子污染的沉積環(huán)境，以實(shí)現(xiàn)膜層結(jié)構(gòu)的高一致性與批次重復(fù)性，為高精度傳感芯片的大規(guī)模開發(fā)和薄膜工藝優(yōu)化提供堅(jiān)實(shí)支撐。
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招標(biāo)人：北京懷柔實(shí)驗(yàn)室
開標(biāo)時(shí)間：2025-10-11 09:30
公示開始時(shí)間：2025-10-13 11:48
評標(biāo)公示截止時(shí)間：2025-10-16 17:00
中標(biāo)候選人名單：
| 候選人排名 | 投標(biāo)商名稱 | 制造商 | 制造商國別及地區(qū) |
| 1 | ******集團(tuán) | singulus technologies ag | 德國 |
